特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應用、對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。在半導體器件，尤其是大規模和超大規模集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中用途廣泛。博泰小編帶大家了解相關(guān)知識。

一、分類(lèi) 

特種氣體根據氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體。根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

二、特種氣體管道的施工 

特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴格的監控和管理。最后整個(gè)系統還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

三、供氣系統的選擇 

1、簡(jiǎn)單供氣系統 
簡(jiǎn)單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠(chǎng)、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。

2、常規供氣系統 
常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠(chǎng)，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，發(fā)光二極管的芯片工序線(xiàn)以及其它用氣量中等規模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿(mǎn)足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單。

3、大宗特氣供氣系統

大宗特氣供應系統采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現自動(dòng)切換，自動(dòng)氮氣吹掃，自動(dòng)真空輔助放空。注意安全防護措施，防止泄漏偵測，設置遠程緊急切斷和專(zhuān)用氮氣吹掃起源等等。