一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規模集成電路工廠(chǎng)的硅片制造過(guò)程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。博泰小編帶大家了解特種氣體系統的設計與施工相關(guān)知識。

一、供氣系統的選擇 

1、簡(jiǎn)單供氣系統 

簡(jiǎn)單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠(chǎng)、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶。

輸送系統多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統，有些甚至用單瓶系統。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統。簡(jiǎn)單供氣系統通常存在安全隱患。

2、常規供氣系統 

常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠(chǎng)，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，發(fā)光二極管的芯片工序線(xiàn)以及其它用氣量中等規模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿(mǎn)足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節省投資。特種氣體采用普通鋼瓶供氣。特氣輸送系統采用氣瓶柜。

配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現自動(dòng)切換，自動(dòng)氮氣吹掃，自動(dòng)真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專(zhuān)用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。

二、氣體房的選擇和設計 

除了簡(jiǎn)單的供氣系統以外，特氣房一般都獨立于主場(chǎng)房而單獨建設，其規劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。常規供氣系統一般也采用多種氣瓶柜共設在一個(gè)氣體室；而對于大宗特氣，會(huì )根據氣體特性和相容性將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風(fēng)，氣體房的選擇和設計一般由設計院完成。

三、管道系統的設計 

1、材料的選擇特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光管道，閥門(mén)一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強的EP管。

2、輔助系統的設計氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過(guò)程中由于搬運和震動(dòng)，閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。